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金属靶材
铍铜靶 (BeCu) 钒靶 (V) 锆钇靶 (ZrY) 铝靶 (Al) 铝钪靶 (AlSc) 钴钽锆靶 (CoTaZr) 铬靶 (Cr) 铬钴靶 (CrCo) 铜靶 (Cu) 铜镓靶 (CuGa) 铜铟镓靶 (CIG) 掺碳锗锑碲靶 (C-GST) 铟靶 (In) 铟锡靶 (InSn) 铌靶 (Nb) 镍靶 (Ni) 锡靶 (Sn) 硅靶 (Si) 硅铝靶 (SiAl) 钽靶 (Ta) 钛靶 (Ti) 钨钛靶 (WTi)
贵金属靶材
银靶 (Ag) 金靶 (Au) 铂靶 (Pt) 钌靶 (Ru) 镍铂靶 (NiPt)
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高纯金属质料
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氧化物
氧化铝 (Al2O3) 氧化铪 (HfO2) 氧化铟锡 (ITO) 氧化铌 (Nb2O5) 氧化钛 (Ti3O5) 氧化钽 (Ta2O5)
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硒化镉 (CdSe) 硒化锌 (ZnSe)
硫化物
硫化锌 (ZnS)
氟化物
氟化镱 (YbF3) 氟化铈 (CeF3) 氟化钡 (BaF2)
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